咨詢熱線：021-80392549

晶圓定位傳感器 M-DW1

點擊圖片查看原圖

店鋪基本資料信息

產品詳細說明

晶圓定位傳感器 M-DW1

采用安全的LED光源的反射型晶圓定位傳感器

UL 、CE 已取得。
CE : EMC指令
UL : Recognition認證

特點

以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會從加載口內側穿過FOUP直射操作人員，十分危險。
M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。

M-DW1以反射光的位置來檢測，不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。

氮化膜具有可吸收特定波長光的性質，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。因此，對于使用單波長激光的傳感器，可能會因光全被吸收而無法檢測。
而LED光源的光具有一定波長段，即使氮化膜晶圓也可準確檢測。

實現(xiàn)0.5ms的高速反應。兼顧高速反應性和高精度。

利用反射光量檢測時，反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結果。M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進行檢測。因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。

傳感器可以從正前方、右側、左側、下方四個方向引出電纜�？筛鶕�(jù)傳感器的設置情況靈活調節(jié)。

尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進深50mm，質量約為75g的小巧、輕盈型。

同類供應信息