亚洲中文字幕在线一区二区三区|精品在免费线中文字幕久久|成人精品一区二区三区电影免费|中文字幕av一区中文字幕

咨詢熱線:021-80392549
發(fā)布信息

川崎機器人 NT510 4軸 范圍1230mm 用于半導體、有機EL、LCD面板、太陽能面板機器人

點擊圖片查看原圖
品牌: 川崎
軸數(shù): 4
范圍: 1230mm
單價: 面議
所在地: 上海
有效期至: 長期有效
最后更新: 2017-02-17 10:21
瀏覽次數(shù): 367
詢價
店鋪基本資料信息
 
產(chǎn)品詳細說明
 

NT系列機器人

用于半導體、有機EL、LCD面板、太陽能面板

長伸展距離水平手臂

NT系列無塵機器人設計的目的是讓一個機器人可以伸展開來管護多達四個FOUP而不必使用線性軸。NT系列采用下一代設計,以400晶片每小時(WPH)的速率來搬運300mm或450mm晶圓,而沒有使用校準器。
卓越的伸展距離
單個的NT系列手臂可以伸展到四個FOUP。選配的線性軸可以增加FOUP*多到五個。
高吞吐量
標準NT機器人的吞吐量是用校準器280晶圓每小時(WPH)與不用校準器400WPH?捎眠x配的抓手,增加吞吐量到700WPH。
SEMI F47合規(guī)
NT型號可以瞬時響應電波動,如電壓下降,并且在電壓恢復時自動恢復運行。
SEMI S2合規(guī)
NT型號可以滿足對環(huán)境和人身安全的特殊考慮。
碰撞檢測
軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測功能,以減少碰撞所造成精密、專用設備的損壞。
懸掛式安裝
NT620型號具有吊裝規(guī)格設計,用于在化學液體環(huán)境中使用,同時滿足ISO1級的要求。
NT410-1

NT系列機器人規(guī)格

型號 NT410 NT420 NT510 NT520 NT620
構造 水平多關節(jié)型
自由度 4 軸 5 軸 4 軸 5 軸 5 軸
運動范圍 θ1 軸
(旋轉JT2)
340° 340° 340° 340° 340°
Z 軸
(上下JT3)
400 mm 400 mm 470 mm 470 mm 600 mm
θ2 軸
(旋轉JT4)
340° 340° 340° 340° 340°
H1 軸
(旋轉JT6)
340° (380°) *2 340° (380°) *2 340° (380°) *2 340° (380°) *2 340° (380°) *2
H2 軸
(旋轉JT7)
- 340° - 380° 380°
*大伸展距離 1,230 mm 1,280 mm 1,230 mm 1,280 mm 1,250.7 mm
重復性 ± 0.1 mm  (晶圓中心)
無塵度*1 ISO 1級
控制柜 D60/D61  (規(guī)格見無塵控制柜)

*1: 于川崎的無塵間內測得