川崎機器人 NS510 3軸用于半導(dǎo)體、有機EL、LCD面板機器人

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產(chǎn)品詳細說明

NS系列機器人

用于半導(dǎo)體、有機EL、LCD面板

NS系列無塵機器人以其長期現(xiàn)場使用證明其具有300mm晶圓搬運所需的可靠性和高水平性能。NS系列的RTZ操縱器運動功能，具有線性軸的可選長度，以實現(xiàn)額外的FOUP伸展范圍。

SEMI F47合規(guī)

NS型號可以瞬時響應(yīng)電波動，如電壓下降，并且在電壓恢復(fù)時自動恢復(fù)運行。

SEMI S2合規(guī)

NS型號可以滿足對環(huán)境和人身安全的特殊考慮。

碰撞檢測

軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測功能，以減少碰撞所造成精密、專用設(shè)備的損壞。

翻轉(zhuǎn)夾持軸

NS411型號有一個附加軸，用于在水平和垂直角度搬運晶圓。

懸掛式安裝

NS511型號具有吊裝規(guī)格設(shè)計，用于在化學(xué)液體環(huán)境中使用，同時滿足ISO 5級的要求。

NS系列的規(guī)格

型號		NS410	NS411	NS420	NS510	NS511
構(gòu)造		水平多關(guān)節(jié)型
自由度		3 軸	4 軸	4 軸	3 軸	4 軸
運動范圍	Y 軸（行進JT1）	2 FOUP: 660 mm / 3 FOUP: 1,070 mm 4 FOUP: 1,670 mm			-	-
	θ 軸 (旋轉(zhuǎn)JT2)	380°	325°	325°	360°	473°
	Z 軸 (上下JT3)	380 mm	380 mm	380 mm	440 mm	440 mm
	X 軸 (上下JT4)	710 mm	798 mm	X1: 646.8 mm X2: 646.8 mm	598 mm	816.5 mm
	F 軸 (旋轉(zhuǎn)JT5)	-	156°	-	-	200°
重復(fù)性		± 0.1 mm （晶圓中心）
無塵度*1		ISO 2級				ISO 5級
控制柜		D60/D61 (規(guī)格見無塵控制柜)