川崎機(jī)器人 NS511 翻轉(zhuǎn)單手臂無(wú)塵機(jī)器人

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店鋪基本資料信息

產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明

NS系列機(jī)器人

用于半導(dǎo)體、有機(jī)EL、LCD面板

NS系列無(wú)塵機(jī)器人以其長(zhǎng)期現(xiàn)場(chǎng)使用證明其具有300mm晶圓搬運(yùn)所需的可靠性和高水平性能。NS系列的RTZ操縱器運(yùn)動(dòng)功能，具有線性軸的可選長(zhǎng)度，以實(shí)現(xiàn)額外的FOUP伸展范圍。

SEMI F47合規(guī)

NS型號(hào)可以瞬時(shí)響應(yīng)電波動(dòng)，如電壓下降，并且在電壓恢復(fù)時(shí)自動(dòng)恢復(fù)運(yùn)行。

SEMI S2合規(guī)

NS型號(hào)可以滿足對(duì)環(huán)境和人身安全的特殊考慮。

碰撞檢測(cè)

軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測(cè)功能，以減少碰撞所造成精密、專用設(shè)備的損壞。

翻轉(zhuǎn)夾持軸

NS411型號(hào)有一個(gè)附加軸，用于在水平和垂直角度搬運(yùn)晶圓。

懸掛式安裝

NS511型號(hào)具有吊裝規(guī)格設(shè)計(jì)，用于在化學(xué)液體環(huán)境中使用，同時(shí)滿足ISO 5級(jí)的要求。

NS系列的規(guī)格

型號(hào)		NS410	NS411	NS420	NS510	NS511
構(gòu)造		水平多關(guān)節(jié)型
自由度		3 軸	4 軸	4 軸	3 軸	4 軸
運(yùn)動(dòng)范圍	Y 軸（行進(jìn)JT1）	2 FOUP: 660 mm / 3 FOUP: 1,070 mm 4 FOUP: 1,670 mm			-	-
	θ 軸 (旋轉(zhuǎn)JT2)	380°	325°	325°	360°	473°
	Z 軸 (上下JT3)	380 mm	380 mm	380 mm	440 mm	440 mm
	X 軸 (上下JT4)	710 mm	798 mm	X1: 646.8 mm X2: 646.8 mm	598 mm	816.5 mm
	F 軸 (旋轉(zhuǎn)JT5)	-	156°	-	-	200°
重復(fù)性		± 0.1 mm （晶圓中心）
無(wú)塵度*1		ISO 2級(jí)				ISO 5級(jí)
控制柜		D60/D61 (規(guī)格見(jiàn)無(wú)塵控制柜)