光柵尺測量原理
海德漢公司的光學(xué)掃描型光柵尺或編碼器的測量基準(zhǔn)都是周期刻線-光柵。這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。大長度測量用的光柵尺基體為鋼帶。海德漢公司用特別開發(fā)的光刻工藝制造精密光柵。
• AURODUR:在鍍金鋼帶上蝕刻線條,典型柵距40 μm
•METALLUR:抗污染的鍍金層金屬線,典型柵距20 μm
•DIADUR:玻璃基體的超硬鉻線(典型柵距20 μm)或玻璃基體的三維鉻線格柵(典型柵距8 μm)
• SUPRADUR相位光柵:光學(xué)三維平面格柵線條,超強(qiáng)抗污能力,典型柵距不超過8 μm
•OPTODUR相位光柵:光學(xué)三維平面格柵線條,超高反光性能,典型柵距不超過2 μm
這種方法除了能刻制柵距非常小的光柵外,而且它刻制的光柵線條邊緣清晰、均勻。再加上光電掃描法,這些邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號的關(guān)鍵。