敞開式直線光柵尺

敞開式直線光柵尺設(shè)計用于對測量精度要求極高的機床和系統(tǒng)。

典型應(yīng)用包括：

· 半導(dǎo)體業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備

· PCB電路板組裝機

· 超高精度機床

· 高精度機床

· 測量機和比較儀，測量顯微鏡和其它精密測量設(shè)備

· 直驅(qū)電機