羅茨真空泵是一種容積式真空泵,又稱機(jī)械增壓泵,是目前獲得中、高真空的主要抽氣設(shè)備之一,是利用兩個(gè)8字型的轉(zhuǎn)子在泵殼內(nèi)同步轉(zhuǎn)動,完成吸氣和排氣。
該泵不允許高壓差工作,否則會造成過載和過熱而損壞,因此羅茨泵必須合理選用前級泵,安裝必要的保護(hù)設(shè)備。
不可單獨(dú)使用,必須配置前級泵。不允許在大氣壓力下啟動,待前級泵將羅茨泵入口壓力抽到允許入口壓力時(shí)方可啟動。前級泵一般為水環(huán)式真空泵、油環(huán)式真空泵、油封式機(jī)械泵等