SEMISTAR-VD95D
適用于真空環(huán)境內(nèi)*大搬運(yùn)尺寸達(dá)730*920mm雙腕玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人！
雙腕玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人
負(fù)載：95KG
動態(tài)范圍：2300mm
控制柜：DX100
用途：搬運(yùn)、潔凈室
大動作范圍：*大搬運(yùn)尺寸達(dá)730*920mm雙腕玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人。
手臂采用連桿機(jī)構(gòu)實現(xiàn)高鋼性。
采用真空內(nèi)傳送帶驅(qū)動實現(xiàn)低放出氣體性能。
手臂可內(nèi)置基板傳感器用配線。
項目 規(guī)格 備注
名稱 SEMISTAR-VD95D
機(jī)型 XU-RVD1450D6-A10(配傳感電纜)
構(gòu)造 水平多關(guān)節(jié)形(4個自由度)
動作范圍 L，R軸(伸縮) 2300mm
S軸(旋轉(zhuǎn)) -170°~+170°
U軸(升降) 150mm
動作時間*1
(速度運(yùn)作時) L，R軸(伸縮) 3.2秒以下 2300mm伸縮距離
S軸(回轉(zhuǎn)) 3.8秒以下 340deg旋轉(zhuǎn)距離(但L，R=0)
U軸(升降) 2.5秒以下 150mm升降距離
重復(fù)定位精度*2 各軸±0.3mm 抓手安裝部分中心位置時
手臂抖動精度 ±0.3mm以下 水平方向，抓手安裝部分中心位置時
負(fù)載 95KG/手臂 含抓手重量
容許慣性力矩(CD2/4) *大118kg·m2 含抓手重量，抓手安裝部分中心位置時
耐真空度 1*10-6Pa
本體質(zhì)量 1500kg
適用控制柜式樣 ERDR-VD0095D-A00 三相AC200V，3.0kVA
*1：動作節(jié)拍不保證帶有基板時搬運(yùn)速度。由于抓手的形狀及抓手的安裝部分的鋼性產(chǎn)生共振時，會影響動作節(jié)拍，請重新設(shè)定。
*2：依據(jù)JIS B8432標(biāo)準(zhǔn)的動作重復(fù)定位精度。但有無工件時負(fù)載變動以及使用速度的差異、溫度變化的影響不考慮在內(nèi)。
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