產(chǎn)品描述
1、激光晶圓打標(biāo)機(jī)是天弘為半導(dǎo)體行業(yè)推出的一款專業(yè)設(shè)備
2、選用國際**的工業(yè)化級風(fēng)冷固態(tài)激光器作為光源,高速高精度的數(shù)字振鏡,輔以高精度的兩維直線電機(jī)工作臺及直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺,專用CCD定位
3、根據(jù)用戶需要,打標(biāo)幅面可以從2英寸到12英寸
技術(shù)參數(shù)
型號
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TH-WLMS |
激光器
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調(diào)Q半導(dǎo)體泵浦全固態(tài)激光器/RF-CO2 |
激光物質(zhì)
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Nd:YVO4/CO2 |
激光波長 |
355nm(紫外UV)/10.6um(CO2)/532nm(綠光) |
額定功率
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1W @ 25KHZ |
直線電機(jī)工作臺定位精度
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±2um |
直線電機(jī)工作臺重復(fù)精度
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±1um
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直線電機(jī)工作臺有效行程
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≤40um |
CCD自動定位精度
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7um |
*小字符 |
0.1mm |
線寬
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272mm×304mm |
應(yīng)用領(lǐng)域
晶圓激光打標(biāo)機(jī)是開發(fā)用來標(biāo)記每個晶片上的個別代碼,以保證整個制程鏈的可追蹤性
樣品展示