簡介
適用于晶元搬運(yùn)SEMISTAR-M系列升級版,**業(yè)界的***!供應(yīng)EFEM模塊全套設(shè)備。300枚/小時(shí)的高速搬運(yùn)。
主要參數(shù)
機(jī)器人型號: |
SEMISTAR-MR124 |
驅(qū)動(dòng)軸數(shù): |
5 |
動(dòng)態(tài)范圍: |
1215mm |
用途: |
搬運(yùn)、半導(dǎo)體 |
特點(diǎn)
大動(dòng)作范圍:EFEM模塊移動(dòng)距離可達(dá)4套應(yīng)用設(shè)備,無需使用底架,極大地提高了搬運(yùn)效率。
高速搬運(yùn):300枚/小時(shí)
適用:300mm-450mm晶片搬運(yùn)