采用直線電機(jī),使搬運(yùn)、推送和長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)小型化。
厚度:9mm,質(zhì)量:130g(行程10mm時(shí))。
***大推力:6N。
重復(fù)定位精度:±5μm。
推進(jìn)測(cè)長(zhǎng)精度:±10μm。
***高使用頻率:500cpm。
系列 |
行程(mm) |
傳感器
(光學(xué)式直線
編碼器)分辨率 |
推進(jìn)
瞬時(shí)***大推力 |
重復(fù)
定位
精度 |
推進(jìn)
測(cè)長(zhǎng)
精度 |
***高速度 |
LAT3F |
10, 20, 30, 50 |
1.25μm |
~6N |
±5μm |
±10μm |
400mm/s |
LAT3M |
50 |
5μm |
~6N |
±20μm |
±40μm |
400mm/s |
LAT3 |
10, 20, 30 |
30μm |
~6N |
±90μm |
±100μm |
400mm/s |