歐姆龍

傳感頭

項目型號 ZW-S7010 ZW-S7020 ZW-S7030 ZW-S5010 ZW-S5020 ZW-S5030

適用傳感器控制器 ZW-7000□ ZW-5000□

測定中心距離 10mm 20mm 30mm 10mm 20mm 30mm

測量范圍 ±0.5mm 1 ±1mm 1 ±2mm *1 ±0.5mm ±1mm ±2mm

**靜止分辨率 2 0.004μm 0.008μm 0.016μm 0.004μm 0.008μm 0.016μm

線性度 3** ±0.45μm ±0.9μm ±2.0μm ±0.45μm ±0.9μm ±2.0μm

光點直徑
(測量范圍內整區(qū)) *4 φ50μm φ70μm φ100μm φ9μm φ13μm φ18μm

**測量周期 5 20μs～400μs 80μs～1600μs

使用環(huán)境照度物體表面照度30000Lx以下：白熾燈

環(huán)境溫度范圍工作時：0～+50℃、保存時：-15～+60℃
(不結冰、不凝露)

環(huán)境濕度范圍工作時/保存時：35～85%(不凝露)

保護構造 IP40(IEC60529)

振動(耐久) 10～150Hz(單振幅0.35mm)、 X/Y/Z各方向 80分鐘

沖擊(耐久) 150m/s²、6個方向、各3次(上下、左右、前后)

溫度特性 6 0.6μm/℃ 1.1μm/℃ 1.8μm/℃ 0.6μm/℃ 1.1μm/℃ 1.8μm/℃

LED的安全性風險組1(IEC62471)

材質箱體：鋁壓鑄
光纜包層部：PVC
校準ROM：PC

光纜長度 0.3m、2m(耐彎曲電纜)

光纜小彎曲半徑 20mm

絕緣電阻(校準ROM) 外殼與所有端子間：20MΩ(250V兆歐表)

耐壓(校準ROM) 外殼與所有端子間：AC1000V、50/60Hz、1分鐘

重量光纜長度0.3m　約170g
光纜長度2m　約180g

附件校準ROM固定用螺釘(M2)、
吊帶(2個)、
使用說明書、
使用注意事項校準ROM固定用螺釘(M2)、
吊帶(1個)、
使用說明書、
使用注意事項

1.測量范圍在測量周期為28μs以上時
*2.在測量中心距離對本公司標準鏡面對象物體進行平均次數(shù)16384次測量時的實效值
與出口貿易管理法規(guī)對應控制器(ZW-7000T/5000T)連接時，無論傳感頭和設定條件如何，***小分辨率都為0.25μm。
3.設定本公司標準對象物體的材質：相對于鏡面測量時的理想直線的誤差
4.以測量波長的峰值光強度的1/e²(13.5%)定義的實效值
5.連接了5m以上的延長用光纖電纜時，測量周期(曝光時間)的設定范圍會發(fā)生變化。
6. 用鋁夾具固定傳感頭和對象物體之間，在相同溫度環(huán)境下設置傳感頭和控制器時的測量中心距離的測量值變化量

項目	型號	ZW-S7010	ZW-S7020	ZW-S7030	ZW-S5010	ZW-S5020	ZW-S5030
適用傳感器控制器	ZW-7000□	ZW-5000□
測定中心距離	10mm	20mm	30mm	10mm	20mm	30mm
測量范圍	±0.5mm *1	±1mm *1	±2mm *1	±0.5mm	±1mm	±2mm
*靜止分辨率 2**	0.004μm	0.008μm	0.016μm	0.004μm	0.008μm	0.016μm
*線性度 3**	±0.45μm	±0.9μm	±2.0μm	±0.45μm	±0.9μm	±2.0μm
光點直徑 (測量范圍內整區(qū)) *4	φ50μm	φ70μm	φ100μm	φ9μm	φ13μm	φ18μm
*測量周期 5**	20μs～400μs	80μs～1600μs
使用環(huán)境照度	物體表面照度30000Lx以下：白熾燈
環(huán)境溫度范圍	工作時：0～+50℃、保存時：-15～+60℃ (不結冰、不凝露)
環(huán)境濕度范圍	工作時/保存時：35～85%(不凝露)
保護構造	IP40(IEC60529)
振動(耐久)	10～150Hz(單振幅0.35mm)、 X/Y/Z各方向 80分鐘
沖擊(耐久)	150m/s²、6個方向、各3次(上下、左右、前后)
*溫度特性 6**	0.6μm/℃	1.1μm/℃	1.8μm/℃	0.6μm/℃	1.1μm/℃	1.8μm/℃
LED的安全性	風險組1(IEC62471)
材質	箱體：鋁壓鑄光纜包層部：PVC 校準ROM：PC
光纜長度	0.3m、2m(耐彎曲電纜)
光纜小彎曲半徑*	20mm
絕緣電阻(校準ROM)	外殼與所有端子間：20MΩ(250V兆歐表)
耐壓(校準ROM)	外殼與所有端子間：AC1000V、50/60Hz、1分鐘
重量	光纜長度0.3m　約170g 光纜長度2m　約180g
附件	校準ROM固定用螺釘(M2)、吊帶(2個)、使用說明書、使用注意事項	校準ROM固定用螺釘(M2)、吊帶(1個)、使用說明書、使用注意事項

控制器

項目型號 ZW-7000□ ZW-5000□

輸入輸出類型 NPN/PNP通用

傳感頭連接臺數(shù) 1臺

適用傳感頭 ZW-S70□□ ZW-S50□□

測量用光源白色LED

LED的安全性風險組1(IEC62471)

激光安全性 1級(IEC/EN60825-1) -

段
顯示主數(shù)字顯示 11段白色顯示、6位

輔數(shù)字顯示 11段綠色顯示、6位

LED
顯示狀態(tài)指示燈 HIGH(橙色)、PASS(綠色)、LOW(橙色)、
STABILITY(綠色)、ZERO(綠色)
、ENABLE(綠色)、THRESHOLD-H(橙色)、
THRESHOLD-L(橙色)、RUN(綠色)

EtherCAT指示燈 ECAT RUN(綠色)、
L/A IN(Link/Activity IN)(綠色)、
L/A OUT(Link/Activity OUT)(綠色)、
ECAT ERR(紅色)

外部
接口 Ethernet 100BASE-TX/10BASE-T　
無協(xié)議(TCP/UDP)、EtherNet/IP

EtherCAT EtherCAT專用協(xié)議100BASE-TX

RS-232C 大115,200bps

模擬
輸出
端子
臺模擬量電壓輸出
(OUTV) -10V～+10V、輸出阻抗：100Ω

模擬量電流輸出
(OUTA) 4mA～20mA、大負載電阻：300Ω

32極
擴展
連接
器判定輸出
(HIGH/PASS/LOW) 晶體管輸出方式
輸出電壓：DC21.6～30V
負載電流：50mA以下
ON時剩余電壓：2V以下
OFF時漏電流：0.1mA以下

BUSY輸出
(BUSY)

報警輸出
(ALARM)

啟用輸出
(ENABLE)

漏型標志輸出
(SYNFLG)

觸發(fā)BUSY輸出
(TRIGBUSY)

記錄狀態(tài)輸出
(LOGSTAT)

記錄錯誤輸出
(LOGERR)

穩(wěn)定性輸出
(STABILITY)

任務狀態(tài)輸出
(TASKSTAT)

LIGHT OFF輸入
(LIGHT OFF) DC輸入方式
輸入電壓：DC24V±10%(DC21.6～26.4V)
輸入電流：7mA Typ.(DC24V)
ON電壓/ON電流：19V/3mA以上
OFF電壓/OFF電流：5V/1mA以下

歸零輸入
(ZERO)

時間輸入
(TIMING)

復位輸入
(RESET)

漏型輸入
(SYNC)

觸發(fā)輸入
(TRIG)

記錄輸入
(LOGGING)

BANK 選擇時
BANK輸出
(BANK_OUT1～3) 晶體管輸出方式
輸出電壓：DC21.6～30V
負載電流：50mA以下　
ON時剩余電壓：2V以下
OFF時漏電流：0.1mA以下

BANK
選擇輸入
(BANK_SEL1～3) DC輸入方式
輸入電壓：DC24V±10%(DC21.6～26.4V)
輸入電流：7mA Typ.(DC24V)
ON電壓/ON電流：19V/3mA以上
OFF電壓/OFF電流：5V/1mA以下

主要
功能曝光時間自動/固定

**測量周期 1 20μs～400μs 80μs～1600μs

材質指定標準/鏡面/粗糙面

測量項目高度/厚度/運算

濾波器處理中值/平均/微分/高通/低通/帶通

輸出縮放/各種保持/歸零/測量值記錄

顯示測量值/閾值/
模擬量輸出電壓值或電流值/
判定結果/分辨率/曝光時間/
內部記錄狀態(tài)/峰值受光量

設定登錄數(shù) 多8個BANK

任務處理多任務(1個BANK*多4個任務)

系統(tǒng) 保存/初始化/測量信息顯示/
通信設定/傳感頭校正/
鍵鎖定/歸零存儲/時間輸入

額
定值電源電壓 DC21.6V～26.4V(含波動)

消耗電流 800mA以下

絕緣電阻所有導線和FG端子間：20MΩ(250V兆歐表)

耐壓所有導線和FG端子間：AC500V、50/60Hz、1分鐘

耐環(huán)
境性保護構造 IP20(IEC60529)

振動(耐久) 10～55Hz(單振幅0.35mm)、
X/Y/Z各方向 50分鐘

沖擊(耐久) 150m/s²、6個方向、
各3次(上下、左右、前后)

環(huán)境溫度范圍工作時：0～+40℃、保存時：
-15～+60℃(不結冰、不凝露)

環(huán)境濕度范圍** 工作時/保存時：35～85%(不凝露)

接地 D型接地(接地電阻100Ω以下)　
*以往的第三種接地

材質箱體：PC

重量約900g(僅本體)、約150g(并行電纜)

附件并行電纜(ZW-XCP2E)
光纖清潔劑10支(ZW-XCL)
使用說明書
會員注冊表并行電纜(ZW-XCP2E)
光纖清潔劑10支(ZW-XCL)
光纖適配器蓋
吊帶(1個)
使用說明書/會員注冊表

注. 備有出口貿易管理法規(guī)適用控制器(ZW-7000T/5000T)。
使用此控制器時，無論連接的傳感頭和設定條件如何，***小分辨率都為0.25μm。
*1. 連接了5m以上的延長用光纖電纜時，測量周期(曝光時間)的設定范圍會發(fā)生變化。

項目	型號	ZW-7000□
輸入輸出類型	NPN/PNP通用
傳感頭連接臺數(shù)	1臺
適用傳感頭	ZW-S70□□	ZW-S50□□
測量用光源	白色LED
LED的安全性	風險組1(IEC62471)
激光安全性	1級(IEC/EN60825-1)	-
段顯示	主數(shù)字顯示	11段白色顯示、6位
輔數(shù)字顯示	11段綠色顯示、6位
LED 顯示	狀態(tài)指示燈	HIGH(橙色)、PASS(綠色)、LOW(橙色)、 STABILITY(綠色)、ZERO(綠色) 、ENABLE(綠色)、THRESHOLD-H(橙色)、 THRESHOLD-L(橙色)、RUN(綠色)
EtherCAT指示燈	ECAT RUN(綠色)、 L/A IN(Link/Activity IN)(綠色)、 L/A OUT(Link/Activity OUT)(綠色)、 ECAT ERR(紅色)
外部接口	Ethernet	100BASE-TX/10BASE-T　無協(xié)議(TCP/UDP)、EtherNet/IP
EtherCAT	EtherCAT專用協(xié)議100BASE-TX
RS-232C	***大115,200bps
模擬輸出端子臺	模擬量電壓輸出 (OUTV)	-10V～+10V、輸出阻抗：100Ω
模擬量電流輸出 (OUTA)	4mA～20mA、***大負載電阻：300Ω
32極擴展連接器	判定輸出 (HIGH/PASS/LOW)	晶體管輸出方式輸出電壓：DC21.6～30V 負載電流：50mA以下 ON時剩余電壓：2V以下 OFF時漏電流：0.1mA以下
BUSY輸出 (BUSY)
報警輸出 (ALARM)
啟用輸出 (ENABLE)
漏型標志輸出 (SYNFLG)
觸發(fā)BUSY輸出 (TRIGBUSY)
記錄狀態(tài)輸出 (LOGSTAT)
記錄錯誤輸出 (LOGERR)
穩(wěn)定性輸出 (STABILITY)
任務狀態(tài)輸出 (TASKSTAT)
LIGHT OFF輸入 (LIGHT OFF)	DC輸入方式輸入電壓：DC24V±10%(DC21.6～26.4V) 輸入電流：7mA Typ.(DC24V) ON電壓/ON電流：19V/3mA以上 OFF電壓/OFF電流：5V/1mA以下
歸零輸入 (ZERO)
時間輸入 (TIMING)
復位輸入 (RESET)
漏型輸入 (SYNC)
觸發(fā)輸入 (TRIG)
記錄輸入 (LOGGING)
BANK	選擇時 BANK輸出 (BANK_OUT1～3)	晶體管輸出方式輸出電壓：DC21.6～30V 負載電流：50mA以下　 ON時剩余電壓：2V以下 OFF時漏電流：0.1mA以下
BANK 選擇輸入 (BANK_SEL1～3)	DC輸入方式輸入電壓：DC24V±10%(DC21.6～26.4V) 輸入電流：7mA Typ.(DC24V) ON電壓/ON電流：19V/3mA以上 OFF電壓/OFF電流：5V/1mA以下
主要功能	曝光時間	自動/固定
*測量周期 1**	20μs～400μs	80μs～1600μs
材質指定	標準/鏡面/粗糙面
測量項目	高度/厚度/運算
濾波器處理	中值/平均/微分/高通/低通/帶通
輸出	縮放/各種保持/歸零/測量值記錄
顯示	測量值/閾值/ 模擬量輸出電壓值或電流值/ 判定結果/分辨率/曝光時間/ 內部記錄狀態(tài)/峰值受光量
設定登錄數(shù)	***多8個BANK
任務處理	多任務(1個BANK***多4個任務)
系統(tǒng)	保存/初始化/測量信息顯示/ 通信設定/傳感頭校正/ 鍵鎖定/歸零存儲/時間輸入
額定值	電源電壓	DC21.6V～26.4V(含波動)
消耗電流	800mA以下
絕緣電阻	所有導線和FG端子間：20MΩ(250V兆歐表)
耐壓	所有導線和FG端子間：AC500V、50/60Hz、1分鐘
耐環(huán) 境性	保護構造	IP20(IEC60529)
振動(耐久)	10～55Hz(單振幅0.35mm)、 X/Y/Z各方向 50分鐘
沖擊(耐久)	150m/s²、6個方向、各3次(上下、左右、前后)
環(huán)境溫度范圍	工作時：0～+40℃、保存時： -15～+60℃(不結冰、不凝露)
環(huán)境濕度范圍	工作時/保存時：35～85%(不凝露)
接地	D型接地(接地電阻100Ω以下)　 *以往的第三種接地
材質	箱體：PC
重量	約900g(僅本體)、約150g(并行電纜)
附件	并行電纜(ZW-XCP2E) 光纖清潔劑10支(ZW-XCL) 使用說明書會員注冊表	并行電纜(ZW-XCP2E) 光纖清潔劑10支(ZW-XCL) 光纖適配器蓋吊帶(1個) 使用說明書/會員注冊表

EtherCAT通信規(guī)格

項目規(guī)格

通信標準 IEC61158 Type12

物理層 100BASE-TX(IEEE802.3)

接插件 RJ45×2
EtherCAT IN ： EtherCAT輸入
EtherCAT OUT ： EtherCAT輸出

通信媒體類別5以上雙絞線電纜
(建議使用鋁帶編織雙重隔離屏蔽線、直線型)

通信距離節(jié)點間距離 100m以內

過程數(shù)據可變PDO映射(variable PDO mapping)

郵箱(CoE) 緊急信息、SDO請求、SDO響應、SDO報文

分布式時鐘 DC模式下同步

LED顯示 L/A IN (Link/Activity IN)×1、
L/A OUT (Link/Activity OUT)×1、
ECAT RUN×1、ECAT ERR×1

項目	規(guī)格
通信標準	IEC61158 Type12
物理層	100BASE-TX(IEEE802.3)
接插件	RJ45×2 EtherCAT IN ： EtherCAT輸入 EtherCAT OUT ： EtherCAT輸出
通信媒體	類別5以上雙絞線電纜 (建議使用鋁帶編織雙重隔離屏蔽線、直線型)
通信距離	節(jié)點間距離 100m以內
過程數(shù)據	可變PDO映射(variable PDO mapping)
郵箱(CoE)	緊急信息、SDO請求、SDO響應、SDO報文
分布式時鐘	DC模式下同步
LED顯示	L/A IN (Link/Activity IN)×1、 L/A OUT (Link/Activity OUT)×1、 ECAT RUN×1、ECAT ERR×1

自動化軟件 Sysmac Studio

項目 **條件*3**

操作系統(tǒng)(OS) 1
日語版或者英語版 Windows 7(32bit版/64bit版)/
Windows 8(32bit版/64bit版)/
Windows 8.1(32bit版/64bit版)/
Windows 10(32bit版/64bit版)

CPU 搭載Intel^®Celeron^®processor 540(1.8GHz)以上處理器的
DOS/V(IBM AT 兼容機)個人計算機。
建議使用搭載Intel^®CoreTM i5 M520 processor(2.4GHz)或
與之相當及以上的處理器的DOS/V(IBM AT 兼容機)個人計算機。

主存儲器 2GB以上
建議4GB以上

硬盤安裝時需要4.6GB以上的剩余容量2

顯示器建議XGA 1024×768、1600萬色　WXGA 1280×800以上

磁盤裝置 DVD-ROM驅動器

通信端口支持USB2.0的USB端口或Ethernet端口 4

使用語言日語、英語、德語、法語、意大利語、西班牙語、
漢語簡體字、漢語繁體字、韓語

1. 支持Sysmac Studio的操作系統(tǒng)的注意事項：
請注意，所需的系統(tǒng)、硬盤容量可能因系統(tǒng)環(huán)境而異。
2. 要使用文件記錄功能，需另行準備記錄用存儲卡。
3. 運行環(huán)境、注意事項的記載內容與位移傳感器版相關。
與標準版相關的運行環(huán)境及注意事項，請參照Sysmac Studio Version1操作手冊(SBCA-362)。
*4. 有關計算機和控制器等的硬件的連接方法/電纜，請參閱各硬件的手冊。

項目	*條件3**
操作系統(tǒng)(OS) *1 日語版或者英語版	Windows 7(32bit版/64bit版)/ Windows 8(32bit版/64bit版)/ Windows 8.1(32bit版/64bit版)/ Windows 10(32bit版/64bit版)
CPU	搭載Intel^®Celeron^®processor 540(1.8GHz)以上處理器的 DOS/V(IBM AT 兼容機)個人計算機。建議使用搭載Intel^®CoreTM i5 M520 processor(2.4GHz)或與之相當及以上的處理器的DOS/V(IBM AT 兼容機)個人計算機。
主存儲器	2GB以上建議4GB以上
硬盤	安裝時需要4.6GB以上的剩余容量*2
顯示器	建議XGA 1024×768、1600萬色　WXGA 1280×800以上
磁盤裝置	DVD-ROM驅動器
通信端口	支持USB2.0的USB端口或Ethernet端口 *4
使用語言	日語、英語、德語、法語、意大利語、西班牙語、漢語簡體字、漢語繁體字、韓語

版本信息

ZW-7000/5000系列與Sysmac Studio的關系

Sysmac Studio標準版/位移傳感器版請使用*新版。

控制器型號控制器的版本 Sysmac Studio標準版/位移傳感器版的對應版本**

ZW-7000□ Ver.2.03以上 Ver.1.15以上版本可使用。

ZW-5000□ Ver.2.10 Ver.1.18以上版本可使用。

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歐姆龍光纖同軸位移傳感器 ZW-7000系列傳感頭 ZW-S7010 0.3M

傳感頭

控制器

EtherCAT通信規(guī)格

自動化軟件 Sysmac Studio

版本信息

ZW-7000/5000系列與Sysmac Studio的關系

Sysmac Studio標準版/位移傳感器版請使用*新版。

控制器型號控制器的版本 Sysmac Studio標準版/位移傳感器版的對應版本**

ZW-7000□ Ver.2.03以上 Ver.1.15以上版本可使用。

ZW-5000□ Ver.2.10 Ver.1.18以上版本可使用。

控制器型號	控制器的版本	Sysmac Studio標準版/位移傳感器版的對應版本
ZW-7000□	Ver.2.03以上	Ver.1.15以上版本可使用。
ZW-5000□	Ver.2.10	Ver.1.18以上版本可使用。

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歐姆龍光纖同軸位移傳感器 ZW-7000系列傳感頭 ZW-S7010 0.3M

傳感頭

控制器

EtherCAT通信規(guī)格

自動化軟件 Sysmac Studio

版本信息

ZW-7000/5000系列與Sysmac Studio的關系

Sysmac Studio標準版/位移傳感器版請使用***新版。 控制器型號 控制器的版本 Sysmac Studio標準版/位移傳感器版的對應版本 ZW-7000□ Ver.2.03以上 Ver.1.15以上版本可使用。 ZW-5000□ Ver.2.10 Ver.1.18以上版本可使用。

Sysmac Studio標準版/位移傳感器版請使用*新版。

控制器型號控制器的版本 Sysmac Studio標準版/位移傳感器版的對應版本**

ZW-7000□ Ver.2.03以上 Ver.1.15以上版本可使用。

ZW-5000□ Ver.2.10 Ver.1.18以上版本可使用。