安川機(jī)器人MCL165適用于潔凈室內(nèi)大型重物的搬運(yùn)。負(fù)載重達(dá)165KG,潔凈度達(dá)到ISO6級。
潔凈室搬運(yùn)機(jī)器人
負(fù)載:165KG
動態(tài)范圍:2650mm
控制柜:DX100
用途:搬運(yùn)、半導(dǎo)體、潔凈室
*1:依據(jù)JIS B8432標(biāo)準(zhǔn)
*2:潔凈度依據(jù)ISO-14644標(biāo)準(zhǔn)。在0.4m/s以上的向下流風(fēng)速環(huán)境下,來確保整個潔凈室的潔凈度。
*3:根據(jù)用途、作業(yè)形式會有所不同。
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