中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀檢測儀器由光學照明系統(tǒng)、光學成像系統(tǒng)、垂直掃描控制系統(tǒng)、信號處理系統(tǒng)、應(yīng)用軟件構(gòu)成。以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,非接觸測量樣品表面形貌,主要用于表面形貌紋理,微觀結(jié)構(gòu)分析,用于測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù),廣泛應(yīng)用于光學,半導(dǎo)體,材料,精密機械等領(lǐng)域。
性能特點
1、輪廓/粗糙度測量功能:
高到亞納米級的高度分辨率,在寬度、高度、角度、直徑等各類輪廓尺寸測量功能以及表征表面整體加工質(zhì)量的粗糙度等指標;
2、自動化測量功能:
自動單區(qū)域測量/自動多區(qū)域測量/自動拼接測量;
3、復(fù)合型掃描算法:
集合了PSI高精度&VSI大范圍雙重優(yōu)點的EPSI掃描算法,有效覆蓋從超光滑到粗糙等所有類型樣品,無須切換,操作便捷;
4、雙重防撞保護功能:
Z軸上裝有防撞機械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護功能,雙重保護,多一重安心;
5、環(huán)境噪聲檢測功能:
環(huán)境噪聲評價功能能夠定量檢測儀器當前所處環(huán)境的綜合噪聲數(shù)值,對儀器的調(diào)試、測試可靠性提供指導(dǎo);
6、完善的售后服務(wù)體系:
設(shè)備故障遠程&現(xiàn)場解決,軟件免費升級。
SuperViewW1白光干涉儀檢測儀器對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu),可以快速而準確的得到理想的測量結(jié)果。其重建算法自動濾除樣品表面噪點,在硬件系統(tǒng)的配合下,分辨率可達0.1nm。