SuperViewW1光學3D輪廓形貌儀采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng)，高精度測量；隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測量重復性。
SuperViewW1光學3D輪廓形貌儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。
部分技術指標
| 型號 |
W1
|
| 光源 |
白光LED |
| 影像系統(tǒng) |
1024×1024 |
| 干涉物鏡 |
標配:10×
選配:2.5×、5×、20×、50×、100×
|
| 光學ZOOM |
標配:0.5×
選配:0.375×、0.75×、1×
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| 標準視場 |
0.98×0.98㎜（10×物鏡，光學ZOOM 0.5×） |
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XY位移平臺
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尺寸 |
320×200㎜ |
| 移動范圍 |
140×100㎜ |
| 負載 |
10kg |
| 控制方式 |
電動 |
| Z軸聚焦 |
行程 |
100㎜ |
| 控制方式 |
電動 |
| 臺階測量 |
| 可測樣品反射率 |
0.05%~*** |
| 主機尺寸 |
700×606×920㎜ |
如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。
產品功能
(1)SuperViewW1光學3D輪廓形貌儀設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；
(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；
(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；
(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數據處理功能；
(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
SuperViewW1白光干涉儀具備的環(huán)境噪聲檢測模塊能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾，在設備調試、日常監(jiān)測、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數據作為支撐，集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作�？蓮V泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。
應用領域
對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
應用范例：
儀器特點
雙重防撞保護措施
在初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外，另在Z軸上設計有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進入緊急停止狀態(tài)，***大限度的保護儀器，降低人為操作風險。
雙通道氣浮隔振系統(tǒng)
既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配靜音空壓機，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。
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