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發(fā)布信息

TTS系列機(jī)器人——川崎機(jī)器人
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品牌： 川崎
系列： 川崎
單價： 面議
所在地： 上海
有效期至： 長期有效
最后更新： 2023-10-19 11:15
瀏覽次數(shù)： 125
詢價
店鋪基本資料信息
 
 產(chǎn)品詳細(xì)說明

布局范例

一個單個的NT系列機(jī)器人能夠不使用軌道而只用2到3個FOUP就訪問所有的EFEM。

TTS系列機(jī)器人規(guī)格

項(xiàng)目 標(biāo)準(zhǔn) 選項(xiàng)
型號 TTS10 TTS20 -
構(gòu)造 水平多關(guān)節(jié)型、伸縮水平多關(guān)節(jié)型 -
臂 單手臂 雙手臂 -
自由度(軸) 4 5 -
動作范圍 θ1軸 (旋轉(zhuǎn)JT2) (°) 340 -
Z軸 (上下JT3) (㎜) 740 -
θ2軸 (旋轉(zhuǎn)JT4) (°) 340 -
H1軸 (旋轉(zhuǎn)JT6) (°) 340 -
H2軸( 回転JT7) (°) - 340 -
*大臂展 (mm) 1,066 -
重復(fù)性 (mm)1 ±0.1 (晶圓中心) -
無塵度2 ISO1級 -
抓手規(guī)格3 - - 邊緣夾持式 / 真空吸附式
控制柜 D60 示教器
分離電纜(1-5m)4 操作盒
軟件 標(biāo)準(zhǔn)軟件 KRET
KMTerm KR3D
KSUtility Lite KSUtility
手冊 使用說明書 -
通信說明書 -
通用軟件 (K-Fast) 導(dǎo)入說明書 -
否則 - 校準(zhǔn)器
- 測繪傳感器

1：以ISO9283為基準(zhǔn)。

2：于川崎的無塵間內(nèi)測得。

3：標(biāo)準(zhǔn)式樣不含抓手。

4：分離電纜請從1m、2m、2.5m、3m、3.5m、4m、4.5m、5m中選擇。