PFA花籃(PFA wafer Cassette) 又名 清洗花藍(lán) ,特氟龍卡匣 , 特氟龍晶舟盒 ,特氟龍晶圓盒為承載半導(dǎo)體晶圓片/硅片的容器,耐酸耐堿耐腐蝕(強酸、強氟酸、強堿),能做激光雕刻,能夠安裝RFID。保持載體和物料的跟蹤。
主要用于半導(dǎo)體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。我司PFA花籃,進入化學(xué)酸、堿蝕刻制程中,可搭配PFA把手使用。
二、參數(shù)
名稱
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規(guī)格
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耐溫性
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應(yīng)用
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PFA花籃
PP Cassette
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2寸
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-200~260℃
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酸堿傳輸制程
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4寸
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6寸
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三、特點
1.耐腐蝕:耐受強酸強堿
2.搭配可活動把手,用于晶圓芯片清洗運輸
3.耐高低溫:-200~260℃
4.耐絕緣:介電性能與溫度、頻率無關(guān);
5.防污染:本底值低,金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb;
6.低的溶出和析出,確保晶圓芯片無污染
7.化學(xué)性能穩(wěn)定
公司擁有三十多年PFA制品生產(chǎn)加工經(jīng)驗,公司投入大量人力、物力致力于太陽能光伏相關(guān)產(chǎn)品的研發(fā),截止目前,公司推出的光伏用--太陽能硅片花籃,太陽能硅片承載器,硅片花藍(lán),,半導(dǎo)體清洗花籃。