核心提示:
。該器件采用片式技術(shù),緊湊、精確而且靈活,占用面積僅1.6mm×1.6mm,設(shè)計(jì)壓力范圍介于1至40巴。這使其非常適合于對(duì)小型化要求較高的汽車、工業(yè)和醫(yī)療電子領(lǐng)域。的典型非線性僅0.3%。芯片也具有極高的循環(huán)穩(wěn)定性,整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)溫漂僅為0.1%FS。憑借這些特點(diǎn),這類傳感器是精確和穩(wěn)定的變送系統(tǒng)理想的基礎(chǔ)元件。
芯片具有優(yōu)化的焊盤設(shè)計(jì),這些焊盤則具有適用于晶片檢測(cè)器的距離擴(kuò)大了的測(cè)點(diǎn)。與成功的C28和C29系列相同,新的小型化的C32變體允許在芯片的頂部和底部進(jìn)行芯片級(jí)的玻璃預(yù)封裝。底部的玻璃封裝允許適合絕對(duì)壓力和差壓應(yīng)用的鍵連或粘接技術(shù)對(duì)芯片進(jìn)行低應(yīng)力加工。絕對(duì)壓力測(cè)量的參考體積由芯片頂部額外的玻璃襯底形成。因此,這些測(cè)量也可以在非腐蝕性液體和氣體中進(jìn)行。