無硼、低硼、低有機(jī)物空氣過濾網(wǎng)
LB/LO/LL HEPA/ULPA LB/LO/LL ULPA 使用低硼/低有機(jī)物玻璃纖維紙之空氣過濾網(wǎng)。 PTFE 使用超細(xì)微之纖維所結(jié)合而成,低壓損、高捕集效率,其特征為氟樹脂之潔凈性及耐藥品性。
內(nèi)容
半導(dǎo)體科技 ROAD MAP 中Design Rule為分子污染的對(duì)策必須在0.13μm以下。
臺(tái)灣霓塔具備革新的高科技的技術(shù)來制造低硼、低有機(jī)物空氣過濾網(wǎng),已提供此制品給日本市場(chǎng)的許多客戶。
臺(tái)灣霓塔的低硼、低有機(jī)物制品,以日本Nitta分子污染評(píng)價(jià)技術(shù),其性能有被證明。
下個(gè)世代的無塵室中為了有效抑制分子污染,若怠慢了低硼、低分子污染的對(duì)策,將無法抑制分子污染。
分子污染的對(duì)策在超清潔環(huán)境有被要求的場(chǎng)合時(shí),化學(xué)過濾網(wǎng)、低硼、低有機(jī)物空氣過濾網(wǎng)的組合是*適合被選擇使用。
1.過濾網(wǎng)類型
平板型 低硼、低有機(jī)物HEPA Filter
型號(hào) 厚度(MM) 面風(fēng)速(M/S) 初期壓損(PA) 效率(0.3UM) 安全規(guī)格UL900
LB3502 52 0.5 / 0.85 120 / 210 99.99% / 99.97% ---
LB3402 68 0.5 / 0.85 95 / 165 99.99% / 99.97% ---
LB3802 86 0.5 / 0.85 80 / 140 99.99% / 99.97% ---
LL3502 52 0.5 125 99.97% ---
LL3402 68 0.5 125 / 100 99.99% ---
LO3501 52 0.5 / 0.85 140 / 250 99.99% ---
LO3401 68 0.5 / 0.85 110 / 200 99.99% ---
LO3801 86 0.5 / 0.85 90 / 160 99.99% ---
LL3501 52 0.5 / 0.85 140 / 250 99.99% ---
LL3401 68 0.5 / 0.85 110 / 200 99.99% ---
LL3801 86 0.5 / 0.85 90 / 160 99.99% ---
* UL900為選購(gòu)產(chǎn)品
平板型 低硼、低有機(jī)物ULPA Filter
型號(hào) 厚度(MM) 面風(fēng)速(M/S) 初期壓損(PA) 效率(0.1~0.2UM) 安全規(guī)格UL900
LB3542 52 0.5 170 99.999% ---
LB3442 68 0.5 135 99.999% ---
LB3842 86 0.5 / 0.85 110 / 190 99.999% ---
LO3541 52 0.5 200 99.999% V
LO3441 68 0.5 / 0.85 145 / 250 99.9995% / 99.999% V
LO3841 86 0.5 / 0.85 125 / 215 99.9995% / 99.999% V
LL3541 52 0.5 200 99.999% V
LL3441 68 0.5 / 0.85 145 / 250 99.9995% / 99.999% V
LL3841 86 0.5 / 0.85 125 / 215 99.9995% / 99.999% V
* UL900為選購(gòu)產(chǎn)品
CELL型 無硼PTFE HEPA Filter
型號(hào) 尺寸(MM) 風(fēng)量(CMM) 初期壓損(PA) 效率(0.3UM) 安全規(guī)格UL900
U150X-12 595x595x292 43.8 190 99.995% ---
U150X-06 290x595x292 18.5 190 99.995% --- 平板型 無硼PTFE HEPA Filter
型號(hào) 厚度(MM) 面風(fēng)速(M/S) 初期壓損(PA) 效率(0.3UM) 安全規(guī)格UL900
TNNE30H 52 0.5 98 99.999% V
TNNE35H 52 0.5 85 99.999% V 平板型 無硼PTFE ULPA Filter
型號(hào) 厚度(MM) 面風(fēng)速(M/S) 初期壓損(PA) 效率(0.1~0.2UM) 安全規(guī)格UL900
TNNA35U6 52 0.5 116 99.99995% V
TNNA40U6 52 0.5 102 99.99995% V
TNNA50U6 86 0.5 82 99.99995% V