安川機(jī)器人MFS2200D實(shí)現(xiàn)潔凈室內(nèi)多層第6代超大型液晶玻璃基板箱體內(nèi)的高速搬運(yùn)!
大型液晶玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人
負(fù)載:50KG
動態(tài)范圍:1780mm
控制柜:DX100
用途:搬運(yùn)、潔凈室
*1:依據(jù)JIS B8432標(biāo)準(zhǔn)
*2:潔凈度依據(jù)ISO-14644標(biāo)準(zhǔn)。在0.4m/s以上的向下流風(fēng)速環(huán)境下,來確保工件搬運(yùn)面以上潔凈度。
*3:根據(jù)用途、作業(yè)形式會有所不同。
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