大型液晶玻璃基板搬運機器人 負載:50KG 動作范圍:1675mm 控制柜:DX100 用途:搬運、潔凈室
適用于第6代(1500*1850mm)超大型液晶玻璃基板的高速搬運。 更大化利用長距離上下屈伸、低pass line以及雙手臂的特性,實現潔凈室內多層液晶玻璃基板箱體內的高速搬運。
*1:依據JIS B8432標準 *2:潔凈度依據ISO-14644標準。在0.4m/s以上的向下流風速環(huán)境下,來確保工件搬運面以上潔凈度。 *3:根據用途、作業(yè)形式會有所不同。
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