我國(guó)傳感器行業(yè)始于五十年代初期,雖起步較早,但直到1986年“七五”開(kāi)始才正式將傳感器技術(shù)列入國(guó)家和重點(diǎn)項(xiàng)目。如今經(jīng)過(guò)幾十年的發(fā)展,中國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)正處于由傳統(tǒng)型向新型傳感器發(fā)展的關(guān)鍵階段。
傳感器技術(shù)歷經(jīng)了多年的發(fā)展,其技術(shù)的發(fā)展大體經(jīng)歷了三代。
第一代是結(jié)構(gòu)型傳感器,它利用結(jié)構(gòu)參量變化來(lái)感受和轉(zhuǎn)化信號(hào)。結(jié)構(gòu)型傳感器雖屬早期開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品,但近年來(lái)由于新材料、新原理、新工藝的相繼應(yīng)用,在精確度、可靠性、穩(wěn)定性、靈敏度等方面也有了很大的提高。目前結(jié)構(gòu)型傳感器在工業(yè)自動(dòng)化、過(guò)程檢測(cè)與其它等方面仍占有相當(dāng)大的比重。
第二代是上70年代發(fā)展起來(lái)的固體型傳感器,這種傳感器由半導(dǎo)體、電介質(zhì)、磁性材料等固體元件構(gòu)成,是利用材料某些特性制成。如:利用熱電效應(yīng)、霍爾效應(yīng)、光敏效應(yīng),分別制成熱電偶傳感器、霍爾傳感器、光敏傳感器。這類傳感器基于物性變化,無(wú)運(yùn)動(dòng)部件,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,體積。贿\(yùn)動(dòng)響應(yīng)好,且輸出為電量;易于集成化、智能化;低功耗、安全可靠。雖然優(yōu)勢(shì)很多,但線性度差、溫漂大、過(guò)載能力差、性能參數(shù)離散大。
第三代傳感器是以后剛剛發(fā)展起來(lái)的智能型傳感器,是微型計(jì)算機(jī)技術(shù)與檢測(cè)技術(shù)相結(jié)合的產(chǎn)物,使傳感器具有一定的人工智能。智能型傳感器技術(shù)目前正處于蓬勃發(fā)展時(shí)期,具有代表典型作品是美國(guó)霍尼韋爾公司的ST-3000系列智能變送器和德國(guó)斯特曼公司的二維加速度傳感器,以及一些含有微處理器的單片集成壓力傳感器、具有多維檢測(cè)能力的智能傳感器和固體圖像傳感器等。隨著不斷的發(fā)展,毫無(wú)疑問(wèn),智能型傳感器將會(huì)進(jìn)一步擴(kuò)展到化學(xué)、電磁、光學(xué)和核物理等研究領(lǐng)域?梢灶A(yù)見(jiàn),新興的智能化傳感器將會(huì)在關(guān)系到全人類民生的各個(gè)領(lǐng)域發(fā)揮越來(lái)越大的作用。
當(dāng)今水平下的新型傳感器在技術(shù)進(jìn)步的基礎(chǔ)上,正向著高精度、高可靠性、微型化等發(fā)展。
向高精度發(fā)展。隨著工業(yè)自動(dòng)化程度的提高,對(duì)傳感器的要求也不斷提高,研究靈敏度高、精確度高、響應(yīng)速度快、互換性好的新型傳感器以確保生產(chǎn)自動(dòng)化的可靠性。
高可靠性、寬溫度范圍的傳感器的可靠性直接影響到通訊設(shè)備的可靠性,研究高可靠性、寬溫度范圍的傳感器將是永久的方向。許多新興材料(如陶瓷、納米材料)將很有前途。
向微型化發(fā)展各種控制設(shè)備的功能越來(lái)越強(qiáng),要求各個(gè)部件的體積越小越好,這就要求發(fā)展新的材料和加工技術(shù)。傳感器微型化可以使得其功能更加強(qiáng)大,控制更加集中,而且可以減少能源消耗。許多新材料的開(kāi)發(fā)和新工藝的采用可以使這個(gè)趨勢(shì)更加明顯。
向微功耗和無(wú)源化發(fā)展傳感器一般都實(shí)現(xiàn)非電量向電量轉(zhuǎn)化,工作時(shí)離不開(kāi)電源。在野外場(chǎng)地或者離開(kāi)電網(wǎng)的地方,往往就是電池供電或者太陽(yáng)能供電。開(kāi)發(fā)微功率傳感器和無(wú)源傳感器是必然的方向。這樣既可以節(jié)省能源又可以提高系統(tǒng)壽命。目前低功率的芯片發(fā)展很快,許多廠商研發(fā)的新型芯片功耗是普通傳感器的大約五分之一到十分之一。
向智能化、數(shù)字化發(fā)展隨著現(xiàn)代化的發(fā)展,傳感器的功能已經(jīng)突破傳統(tǒng),其輸出已經(jīng)不再是單一的模擬信號(hào),而是經(jīng)過(guò)處理之后的數(shù)字信號(hào),有的甚至帶有控制功能,這就是所說(shuō)的數(shù)字傳感器。
向網(wǎng)絡(luò)化發(fā)展網(wǎng)絡(luò)化發(fā)展是傳感器發(fā)展的一個(gè)重要方向,網(wǎng)絡(luò)的作用和優(yōu)勢(shì)正在逐步凸現(xiàn)出來(lái)。網(wǎng)絡(luò)傳感器勢(shì)必將促進(jìn)電子科技的發(fā)展。
新型傳感器是一種很有發(fā)展前途的傳感器,克服了傳統(tǒng)傳感器精度差、可靠性不高、智能度不高、集成度低、功耗大等許多問(wèn)題,可以滿足現(xiàn)代工業(yè)、軍事、醫(yī)療等各方面的需求。然而由于制造機(jī)理、價(jià)格因素、制造工藝等一系列條件的影響,新型傳感器的開(kāi)發(fā)還處于比較低級(jí)的水平,應(yīng)用也不是很廣泛,因此尚需要做很多的工作。但是可以肯定對(duì)新型傳感器的需求會(huì)越來(lái)越大,要求越來(lái)越高,新型傳感器會(huì)越來(lái)越多得造福人來(lái)社會(huì)。