歐姆龍目前已完成世界首次應(yīng)用晶圓級(jí)真空封裝技術(shù)的紅外線(xiàn)傳感器的研發(fā),成功開(kāi)發(fā)了具有90度廣視野范圍并可實(shí)現(xiàn)高精度區(qū)域溫度檢測(cè)的16x16單元型非接觸式溫度傳感器,并擬于2013年10月開(kāi)始出售樣品。
此后7月3日至5日,配有該非接觸式溫度傳感器的人感傳感器將NanoMicroBiz2013展會(huì)亮相。看的出來(lái)該溫度傳感器用于檢測(cè)人數(shù)及人物所處位置的演算法及非接觸式溫度傳感器結(jié)合在一起,作為組件化的人體傳感器竭力實(shí)現(xiàn)商品化。
近些年來(lái),由于人們家庭及辦公場(chǎng)所對(duì)節(jié)能的意識(shí)不斷提高,在節(jié)能的同時(shí)還致力于實(shí)現(xiàn)舒適生活的智能家居,以及為必要的地方提供必要亮度的照明,并可實(shí)現(xiàn)節(jié)能與舒適性?xún)扇涿赖膽?yīng)需環(huán)境照明等的智能辦公室已經(jīng)過(guò)研究階段進(jìn)入了驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)的階段。
其中,作為掌握人數(shù)及人物所處位置的關(guān)鍵件,傳感器的需求正在不斷高漲。由于普遍用于人感傳感器的熱電傳感器無(wú)法檢測(cè)靜止不動(dòng)的人物,所以難以檢測(cè)人數(shù)及人物所處位置。
由于這種情況,歐姆龍開(kāi)發(fā)了能夠檢測(cè)靜止人物,具有90度廣視野范圍并可實(shí)現(xiàn)高精度區(qū)域溫度檢測(cè),用于人感傳感器的16×16單元型MEMS非接觸式溫度傳感器。該MEMS非接觸式溫度傳感器是通過(guò)應(yīng)用MEMS技術(shù)的熱電堆將對(duì)象物體發(fā)出的紅外線(xiàn)能源變?yōu)闊崮,并通過(guò)兩種金屬接點(diǎn)之間溫差所形成的熱電動(dòng)勢(shì)測(cè)量溫度。
但由于熱電堆所轉(zhuǎn)換的熱能大多數(shù)都會(huì)通過(guò)空氣散失,所以在金屬接點(diǎn)之間難以形成較大的溫差,致使熱電動(dòng)勢(shì)變小,無(wú)法提高靈敏度。這次,世界首次成功將熱電堆真空封裝在芯片內(nèi)。采用真空封裝即可避免將熱電堆轉(zhuǎn)換的熱能散失在空氣中,使金屬接點(diǎn)之間的溫差變大,從而可實(shí)現(xiàn)更高的靈敏度,該溫度傳感器目前在全世界行業(yè)技術(shù)屬于遙遙領(lǐng)先的。