1 高功率半導(dǎo)體激光器線陣 高功率半導(dǎo)體激光器線陣是由分立的激光源經(jīng)過(guò)特殊加工方法形成一定間距的發(fā)光陣列,所發(fā)激光束經(jīng)快軸、慢軸準(zhǔn)直透鏡準(zhǔn)直后,保證在前方工作平面上形成一條一定寬度的激光束;兩排這樣的線陣交叉補(bǔ)償組合形成一連續(xù)的線陣能量源。各激光源由微機(jī)控制,其發(fā)光與否可實(shí)現(xiàn)激光束的變長(zhǎng)線。
1.1 微透鏡準(zhǔn)直器
圖 1 半導(dǎo)體激光器陣列出射光束示意圖
如圖1所示,高功率半導(dǎo)體激光器出射光束的發(fā)散角大,慢軸方向約為10°,快軸方向則可達(dá)40°。另外,它的發(fā)光面尺寸大,慢軸方向可達(dá)150μm甚至200μm,大于光纖端面尺寸,所以提高光纖禍合效率尤其困難。只有使用非球面透鏡將激光光束匯聚到光纖輸人端,才能提高禍合效率。德國(guó)LIMO 公司使用微柱面透鏡陣列對(duì)線陣半導(dǎo)體激光器(laser bar)進(jìn)行光纖藕合。其中快軸方向使用一條狀平凸柱面透鏡,慢軸方向使用一微柱面透鏡陣列。如圖2所示,其中1為半導(dǎo)體激光器線陣,2為快軸準(zhǔn)直器,3為慢軸準(zhǔn)直器。準(zhǔn)直后的剩余發(fā)散角可按下面公式進(jìn)行計(jì)算。
圖 2 準(zhǔn)直原理圖
tanα=d/2Somax=[d/(NA-d)]*tanθ
式中 : α為準(zhǔn)直后的剩余發(fā)散角;d為激光元出射尺寸;NA為孔徑光欄直徑;Somax為微透鏡陣列到激光元出射面的最大距離;K為激光束功率下降到中心1/d2值的直徑所對(duì)應(yīng)的發(fā)散角。
1.2 激勵(lì)電源 采用精密大電流可調(diào)電流源與限流功率開(kāi)關(guān)組成的激勵(lì)電源。要求低導(dǎo)通電阻、高響應(yīng)速度和有防浪涌限流保護(hù)。目前,商品化的半導(dǎo)體激光器線陣(激光二極管厘米條)激光元并聯(lián)連接,均由專用的大電流恒流電源供電。如OPTO POWER公司的40W半導(dǎo)體激光器線陣可用OPCPS4005電源提供高達(dá)50A的電流,但無(wú)法獨(dú)立驅(qū)動(dòng)。.對(duì)于能分別驅(qū)動(dòng)的高功率半導(dǎo)體激光器線陣而言,每個(gè)激光元功率不到1W,僅需小于2A驅(qū)動(dòng)電流。國(guó)外市場(chǎng)有相應(yīng)的商品電源,如THORLAB公司的LD3000模塊,可提供最大為2.5A的恒流電流,具有保護(hù)激光器的慢啟動(dòng)功能,和外接電流控制端,線陣的每一個(gè)激光元可用一個(gè)模塊來(lái)驅(qū)動(dòng),但成本較高。
2 高功率光纖激光器線陣 高功率光纖激光器線陣采用多個(gè)高功率半導(dǎo)體激光器與多排光纖耦合,再利用準(zhǔn)直鏡陣列對(duì)出射光束進(jìn)行準(zhǔn)直,保證在規(guī)定距離的作面上形成激光束線陣。
2.1 高功率光纖激光器關(guān)鍵技術(shù)
1)包層泵浦技術(shù) 采用雙端非對(duì)稱泵浦作為大功率雙包層光纖激光器的泵浦方式。雙端非對(duì)稱泵浦存在最佳光纖長(zhǎng)度使輸出功率最大。當(dāng)雙端泵浦功率分別為60w和240w時(shí),光纖長(zhǎng)度為16m時(shí)光纖輸出功率最大。另外,腔鏡對(duì)光纖輸出功率也有一定的影響,前端鏡對(duì)激光信號(hào)應(yīng)該具有很高的反射率,而輸出鏡的反射率應(yīng)越小越好。
2)泵浦耦合技術(shù) 采用泵浦耦合技術(shù)能有效地將半導(dǎo)體激光器泵浦耦合進(jìn)行雙包層光纖。理論計(jì)算,此種耦合方法的耦合效率可以達(dá)到90%以上。微型棱鏡耦合法對(duì)光源的光束質(zhì)量要求較低,一般的大功率半導(dǎo)體激光器陣列經(jīng)過(guò)光束整形都能滿足要求。另外,它對(duì)光纖本身幾乎沒(méi)有損耗,而且易于加工,是比較理想的雙包層光纖耦合技術(shù)。
3)透鏡準(zhǔn)直陣列 由于準(zhǔn)直鏡的剩余發(fā)散角與前焦距成反比,故透鏡的焦距越長(zhǎng),剩余發(fā)散角越小。在保證光斑尺寸的情況下,可使工作距離增長(zhǎng),這有利于工件的預(yù)熱。但焦距越長(zhǎng),準(zhǔn)直透鏡陣列的節(jié)距越寬,減小了光能量密度及加工精度。
3 結(jié)論
1)半導(dǎo)體激光器線陣特點(diǎn):①工作距離短,工件預(yù)熱困難;②激光器線陣散熱器設(shè)計(jì)困難;③激光器陣列加工及裝配精度要求高;④陣列激光元的一致性好;⑤激光元間距、發(fā)光面位置精度高。
2)光纖激光器線陣特點(diǎn):①工作距離長(zhǎng),工件預(yù)熱容易;②多排光纖無(wú)需散熱;③多排光纖組裝相對(duì)容易;④光纖耦合工藝復(fù)雜;⑤準(zhǔn)直微透鏡光路調(diào)整困難。